इलेक्ट्रिक हीटिंग ट्यूब इलेक्ट्रोप्लेटिंग इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण स्रोत
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इलेक्ट्रिक हीटिंग ट्यूब इलेक्ट्रोप्लेटिंग इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण स्रोत
वाष्पित सामग्री को वाटर-कूल्ड कॉपर क्रूसिबल में रखना और इसे सीधे इलेक्ट्रॉन बीम से गर्म करना इलेक्ट्रॉन बीम हीटिंग विधि कहलाती है। इलेक्ट्रॉनिक उत्सर्जन स्रोत आमतौर पर एक गर्म टंगस्टन कैथोड का उपयोग करते हैं, जिसमें 5-10KV का इलेक्ट्रॉन त्वरण वोल्टेज, कई सौ मिलीमीटर का करंट, और 1-6KW की शक्ति होती है। इलेक्ट्रॉन बीम हीटिंग वाष्पीकरण चढ़ाना में निम्नलिखित विशेषताएं हैं:
1. वाष्पीकरण सामग्री पर सीधे गर्मी लागू की जा सकती है।
2. बाष्पीकरणीय सामग्री के भंडारण के लिए कंटेनर ठंडा हो सकता है, जो कंटेनर को प्रतिक्रियाओं में भाग लेने और कंटेनर सामग्री के अनावश्यक वाष्पीकरण से रोकता है।
3. यह उच्च तापमान वाली धातुओं जैसे टैंटलम और टंगस्टन को वाष्पित कर सकता है। हालांकि, इलेक्ट्रॉन बीम हीटिंग वाष्पीकरण विधि में जटिल उपकरण, अवशिष्ट गैस अणुओं के आंशिक आयनीकरण और इलेक्ट्रॉनों द्वारा वाष्पित सामग्री वाष्प, और इलेक्ट्रॉन बमबारी के कारण अधिकांश यौगिकों का आंशिक अपघटन जैसी कमियां हैं।
उच्च आवृत्ति प्रेरण हीटिंग वाष्पीकरण स्रोत
कोटिंग सामग्री और क्रूसिबल को उच्च आवृत्ति प्रेरण हीटिंग के लिए उच्च आवृत्ति प्रेरण कॉइल में रखें, जिससे क्रूसिबल में कोटिंग सामग्री वाष्पित हो सके। यह विधि मुख्य रूप से एल्यूमीनियम चढ़ाना के लिए उपयोग की जाती है। यदि कोटिंग सामग्री गैर-प्रवाहकीय है, तो क्रूसिबल को प्रवाहकीय सामग्री से बनाया जा सकता है। यह ताप और वाष्पीकरण विधि उच्च ताप दक्षता, बड़े वाष्पीकरण और सरल उपकरण की विशेषता है, इसलिए इसे उद्योग में लागू किया गया है।
फिल्म कोटिंग
(1) मिश्र धातु फिल्म चढ़ाना
यदि एक मिश्र धातु जमा की जानी है, तो संपूर्ण सब्सट्रेट सतह और फिल्म मोटाई सीमा में एक समान संरचना प्राप्त की जानी चाहिए। दो बुनियादी विधियाँ हैं: फ्लैश वाष्पीकरण चढ़ाना और बहु स्रोत वाष्पीकरण चढ़ाना।
फ्लैश वाष्पीकरण चढ़ाना विधि मिश्र धातुओं को पाउडर या महीन कणों में बनाना है, और उन्हें वाष्पीकरण स्रोतों जैसे हीटर और क्रूसिबल में रखना है जो उच्च तापमान बनाए रख सकते हैं, ताकि प्रत्येक कण एक पल में पूरी तरह से वाष्पित हो जाए।
बहु-वाष्पीकरण स्रोत वाष्पीकरण चढ़ाना विधि का उपयोग कई तत्वों से बने मिश्र धातु कोटिंग्स के उत्पादन के लिए किया जाता है, जिन्हें अलग-अलग क्रूसिबल में रखा जाता है। क्रूसिबल की संख्या मिश्र धातु तत्वों की संख्या से निर्धारित होती है। फिर स्वतंत्र रूप से वाष्पीकरण स्रोत के वाष्पीकरण को नियंत्रित करें जहां प्रत्येक क्रूसिबल स्थित है, और सब्सट्रेट पर आने वाले विभिन्न परमाणुओं को आवश्यक कोटिंग संरचना के अनुरूप बनाने का प्रयास करें।
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