वैक्यूम कोटिंग मशीन का वाष्पीकरण एक महत्वपूर्ण प्रक्रिया है

वैक्यूम कोटिंग मशीन का वाष्पीकरण एक महत्वपूर्ण प्रक्रिया है

EI-5Z इलेक्ट्रॉन बीम कोटर की फिल्म मोटाई नियंत्रण की विशेषताओं का विश्लेषण किया जाता है। प्रयोगात्मक परिणामों और सैद्धांतिक अनुसंधान की मदद से, एक अधिक व्यावहारिक समायोजन प्लेट को फिर से डिजाइन किया गया, और बेहतर फिल्म प्रदर्शन प्राप्त किया गया: सब्सट्रेट के भीतर विचलन ±3 प्रतिशत के भीतर था, और सब्सट्रेट के एक ही बैच के बीच विचलन की सीमा के भीतर था। ±5 प्रतिशत अंदर। बड़े पैमाने पर उत्पादन की आवश्यकताओं को पूरा करें.

अर्धचालक उत्पादन में वाष्पीकरण एक महत्वपूर्ण प्रक्रिया है। फिल्म की मोटाई नियंत्रण की सटीकता वाष्पीकरण प्रभाव को मापने के लिए एक महत्वपूर्ण संकेतक है, जो बाद की उत्पादन प्रक्रिया और अंतिम उत्पाद के प्रदर्शन को सीधे प्रभावित करती है। बड़े पैमाने पर उत्पादन में, एक ओर, फिल्म की मोटाई के सटीक माप पर जोर दिया जाता है, और दूसरी ओर, फिल्म की मोटाई की एकरूपता पर जोर दिया जाता है - यानी, सब्सट्रेट की सतह के साथ फिल्म की मोटाई में परिवर्तन और फिल्म की मोटाई में परिवर्तन रैक पर विभिन्न स्थानों पर सब्सट्रेट्स के बीच - उच्च मांगें भी हैं।

वैक्यूम कोटिंग मशीन वाष्पीकरण का मूल सिद्धांत

निर्वात परिस्थितियों में पतली फिल्मों को जमा करने की विधि में वाष्पीकरण सबसे पुरानी तकनीक है। समय के साथ, कई अनुप्रयोगों में, इसे धीरे-धीरे अन्य तरीकों, जैसे स्प्यूटरिंग या पीईसीवीडी द्वारा प्रतिस्थापित किया गया है, लेकिन जब भी बड़ी सतहों को पतली फिल्मों की उच्च दर जमाव की आवश्यकता होती है, वाष्पीकरण तकनीक अभी भी सबसे व्यापक रूप से उपयोग की जाने वाली और किफायती समाधान है।

वाष्पीकरण का तकनीकी सिद्धांत बहुत सरल है। वाष्पित होने वाले पदार्थ (वाष्पीकरण स्रोत) को एक विशिष्ट कक्ष में एक विशिष्ट कंटेनर (क्रूसिबल) में रखा जाता है, जहां वाष्पीकरण ऑपरेशन किया जाएगा, और वैक्यूम स्थितियों के तहत एक निश्चित तापमान तक गरम किया जाएगा। वाष्पित सामग्री को गर्म करने की दो विधियाँ हैं, एक प्रेरित चुंबकीय क्षेत्र द्वारा उत्तेजित इलेक्ट्रॉन किरण द्वारा, या प्रतिरोध तार को गर्म करके। वाष्पीकरण कक्ष के उस हिस्से में जो शटर द्वारा संरक्षित नहीं है, वाष्पित पदार्थ एक पतली फिल्म बनाने के लिए सतह पर जमा हो जाएंगे।

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