एक सर्किट के जटिल पैटर्न को सिलिकॉन वेफर में उकेरने के बाद, सुरक्षात्मक फोटोरेसिस्ट मास्क {{0}कठिन, क्रॉस {1}लिंक्ड पॉलिमर {{2} की एक परत को पूरी तरह और सफाई से हटा दिया जाना चाहिए। यह शक्तिशाली, आक्रामक कार्बनिक सॉल्वैंट्स के गर्म स्नान में पूरा किया जाता है, जिसे अक्सर सौ डिग्री सेल्सियस से अधिक तक गर्म किया जाता है। इस अस्थिर, संक्षारक रसायन विज्ञान के अंदर विसर्जन हीटर ऐसी सामग्री से बना होना चाहिए जिसे सॉल्वैंट्स भंग, सूजन या दूषित न कर सकें। PTFE वह रासायनिक रूप से मूक, निष्क्रिय सामग्री है।

फोटोरेसिस्ट स्ट्रिपिंग में पीटीएफई हीटर की भूमिका

स्ट्रिपिंग बाथ में आम तौर पर सॉल्वैंट्स का मिश्रण होता है जैसे एन - मिथाइल-2-पाइरोलिडोन (एनएमपी), डाइमिथाइल सल्फोऑक्साइड (डीएमएसओ), और मजबूत क्षारीय एमाइन, जिसे 80-110 डिग्री तक गर्म किया जाता है। एक PTFE इमर्शन हीटर इस एप्लिकेशन के लिए मानक विकल्प है। इसका रासायनिक रूप से निष्क्रिय आवरण आक्रामक सॉल्वैंट्स के प्रति पूरी तरह से प्रतिरोधी है, जो अन्यथा मानक प्लास्टिक पर हमला करेगा और धातुओं को नष्ट कर देगा।

पीटीएफई हीटर धातु आयनों या अन्य दूषित पदार्थों को छोड़े बिना स्वच्छ, स्थिर और सटीक गर्मी प्रदान करता है जो प्राचीन वेफर सतह पर जमा हो सकते हैं। गैर-छड़ी, चिकनी पीटीएफई सतह विघटित फोटोरेसिस्ट अवशेषों के निर्माण को रोकती है, बार-बार चक्रों पर पूरी तरह से साफ हीटिंग सतह बनाए रखती है। पीटीएफई हीटर फोटोरेसिस्ट स्ट्रिपिंग वेफर प्रक्रिया समान तापमान वितरण सुनिश्चित करती है और स्थानीयकृत उबलने या उछाल को कम करती है जो नाजुक वेफर्स को परेशान कर सकती है।

"पीटीएफई हीटर एक रासायनिक रूप से शांत, शक्तिशाली सॉल्वैंट्स के स्नान में गर्म उंगली है, जो वेफर को प्राचीन और विद्युत रूप से दोषरहित रखते हुए, अपना एक भी निशान छोड़े बिना मास्क को हटा देता है।"

सुरक्षा संबंधी विचार

विलायक मिश्रण ज्वलनशील, विषैला होता है और अक्सर इसके क्वथनांक के करीब संचालित होता है। आग, वाष्प जोखिम, या इलेक्ट्रोस्टैटिक खतरों को रोकने के लिए सीलबंद बाड़ों, ग्राउंडिंग और वेंटिलेशन सहित उचित टैंक डिजाइन अनिवार्य है। नियंत्रित ताप बनाए रखने और पीटीएफई शीथ पर सॉल्वेंट बम्पिंग या स्थानीयकृत ओवरहीटिंग से बचने के लिए कंजर्वेटिव वाट घनत्व की आवश्यकता होती है।

परिचालन लाभ

इस प्रक्रिया में PTFE हीटर का उपयोग करने से अनुमति मिलती है:

आक्रामक विलायक मिश्रण के प्रति रासायनिक प्रतिरक्षा।

पूर्ण वेफर स्वच्छता और विद्युत अखंडता का रखरखाव।

संक्षारण या गिरावट के बिना दीर्घकालिक विश्वसनीयता।

उच्च उपज अर्धचालक निर्माण के लिए सम, अवशेष मुक्त तापन महत्वपूर्ण है।

निष्कर्ष

एक पीटीएफई विसर्जन हीटर महत्वपूर्ण, रासायनिक रूप से प्रतिरक्षा ताप स्रोत है जो अर्धचालक निर्माण में वेफर्स से फोटोरेसिस्ट को साफ, पूर्ण रूप से अलग करने में सक्षम बनाता है। अत्यधिक आक्रामक विलायक स्नान में स्थिर, प्रदूषक मुक्त गर्मी प्रदान करके, पीटीएफई हीटर आधुनिक माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स के लिए आवश्यक परमाणु सफाई सुनिश्चित करता है। कंप्यूटर चिप की उत्तम, दोषरहित सतह रासायनिक आक्रामकता और निष्क्रिय, विश्वसनीय हीटिंग के संयोजन के माध्यम से प्राप्त की जाती है।