वैक्यूम कोटर के मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग समायोजन पैरामीटर

वैक्यूम कोटर के मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग समायोजन पैरामीटर

मैग्नेट्रोन स्पटरिंग कोटिंग उपकरण का व्यापक अनुप्रयोग प्रौद्योगिकी की विशेषताओं द्वारा निर्धारित किया जाता है, जिसे निम्नानुसार संक्षेपित किया जा सकता है: लक्ष्य में तैयार की जा सकने वाली विभिन्न सामग्रियों का उपयोग पतली फिल्म सामग्री के रूप में किया जा सकता है, जिसमें विभिन्न धातुएं, अर्धचालक, लौहचुंबकीय सामग्री सामग्री शामिल हैं। साथ ही ऑक्साइड, सिरेमिक, पॉलिमर आदि को इन्सुलेट करना।

इसके अलावा, मैग्नेट्रोन स्पटरिंग समायोजन पैरामीटर फिल्म के प्रदर्शन को ट्यून कर सकते हैं, विशेष रूप से बड़े क्षेत्र की कोटिंग के लिए उपयुक्त, और जमाव क्षेत्र अधिक समान है।

वैक्यूम कोटर मैग्नेट्रोन स्पटरिंग प्लाज्मा प्रतिबाधा कम है

मैग्नेट्रोन स्पटरिंग कोटिंग उपकरण विभिन्न प्रकार की पतली फिल्में, विभिन्न कार्यों वाली पतली फिल्में तैयार कर सकते हैं, और मिश्रित घटकों के साथ मिश्रण और मिश्रित पतली फिल्में भी जमा कर सकते हैं; मैग्नेट्रोन स्पटरिंग प्लाज्मा प्रतिबाधा कम है, जिसके परिणामस्वरूप उच्च डिस्चार्ज करंट होता है, लगभग 500V के वोल्टेज पर डिस्चार्ज करंट 1A से 100A तक हो सकता है (कैथोड की लंबाई के आधार पर); फिल्म निर्माण दर उच्च है, और जमाव दर को 1nm/s से 10nm/s तक बदला जा सकता है; फिल्म निर्माण की स्थिरता अच्छी है, यहां तक ​​कि कई मीटर लंबे कैथोड में भी स्पटरिंग के मामले में, फिल्म परत की स्थिरता अभी भी सुनिश्चित की जा सकती है; सब्सट्रेट का तापमान वृद्धि कम है; थूके हुए कणों की ऊर्जा लगभग दसियों इलेक्ट्रॉन वोल्ट है, फिल्म का निर्माण अपेक्षाकृत सघन है, और फिल्म का आधार अच्छी तरह से जुड़ा हुआ है।

वैक्यूम कोटिंग मशीन उपकरण का ताप तापमान बहुत अधिक है:

क्योंकि प्रसार पंप हीटर की शक्ति रेटेड शक्ति से मेल नहीं खाती है, यह बहुत अधिक है, जिसके परिणामस्वरूप बड़ी मात्रा में भाप उत्पन्न होती है, जिससे तेल वापसी हो सकती है, और इसे विद्युत भट्ठी के तार को बदलकर हल किया जा सकता है।

वैक्यूम कोटिंग मशीन का ठंडा जल चैनल सुचारू नहीं है या पानी का दबाव पर्याप्त नहीं है:

परिणामस्वरूप, शीतलन क्षमता कम हो जाती है, प्रसार पंप का ऊपरी भाग गर्म हो जाता है, और तेल वाष्प को अच्छी तरह से तरलीकृत नहीं किया जा सकता है। समाधान यह है कि स्केल को उड़ाने के लिए प्रसार पंप के इनलेट पाइप को 4mpa के वायु स्रोत से जोड़ा जाए, और आउटलेट पाइप को भी 4mpa पर उड़ाया जाए। यदि स्केल बहुत मोटा और सख्त है, तो पतला हाइड्रोक्लोरिक एसिड डाला जा सकता है। या प्रसार पंप को बदलें।

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