सेंसर लघुकरण और चिप प्रौद्योगिकी

माइक्रो-इलेक्ट्रोमेकेनिकल सिस्टम (एमईएमएस) एक माइक्रो-सिस्टम या डिवाइस है जो सूक्ष्म-तंत्र, माइक्रो-सेंसर, माइक्रो-एक्ट्यूएटर्स, कंट्रोल सर्किट, सिग्नल प्रोसेसिंग, संचार, इंटरफेस, बिजली की आपूर्ति आदि को एकीकृत करता है। यह माइक्रो/नैनो सामग्री को डिजाइन करने, प्रसंस्करण, विनिर्माण, मापने और नियंत्रित करने के लिए एक तकनीक है।

एमईएमएस तकनीक में शामिल हैं: सिलिकॉन माइक्रोमाचिनिंग टेक्नोलॉजी, डीप रिएक्टिव आयन नक़्क़ाशी, एलआईजीए टेक्नोलॉजी, आणविक असेंबली टेक्नोलॉजी, बल्क माइक्रोमैचिनिंग, सर्फेस माइक्रोमैचिनिंग, लेजर माइक्रोमैचिनिंग और माइक्रो-पैकेजिंग तकनीक।

सिलिकॉन माइक्रोमैचिनिंग तकनीक एमईएमएस की मुख्यधारा की तकनीक है। यह एक सटीक त्रि-आयामी प्रसंस्करण तकनीक है। यह सेंसर, माइक्रो-एक्ट्यूएटर्स, माइक्रो-एक्ट्यूएटर्स और माइक्रो-मैकेनिकल सिस्टम विकसित करने के लिए एक तकनीक है। इसका उपयोग सफलतापूर्वक विभिन्न माइक्रो-सेंसर और बहु-कार्यात्मक संवेदनशील तत्व सरणियों के निर्माण के लिए किया गया है। जैसे कि माइक्रो-सिलिकॉन कैपेसिटिव सेंसर, माइक्रो-सिलिकॉन मास फ्लो सेंसर, डायनेमिक सेंसर और एयरोस्पेस के लिए माइक्रो-सेंसर, ऑटोमोटिव प्रेशर और एक्सेलेरेशन सेंसर, पर्यावरण संरक्षण माइक्रो-केमिकल सेंसर, आदि।

सेंसर सरणियों और बहु-संवेदी पैरामीटर कंपोजिट की एकीकरण प्रौद्योगिकी

एकीकरण डेटा प्रसंस्करण, भंडारण, दो-तरफ़ा संचार, आदि जैसे दबाव, स्थिर दबाव, तापमान तीन-चर सेंसर के साथ कई सेंसिंग कार्यों के एकीकरण को संदर्भित करता है; हवा का दबाव, पवन बल, तापमान, आर्द्रता चार-चर सेंसर; माइक्रो सिलिकॉन कम्पोजिट स्ट्रेन प्रेशर सेंसर और सरणी सेंसर, आदि, सभी एकीकरण प्रौद्योगिकी का उपयोग करते हैं। एकीकरण प्रक्रिया और बहु-चर समग्र सेंसर माइक्रोस्ट्रक्चर एकीकृत विनिर्माण प्रक्रिया, जैसे कि दबाव, स्थिर दबाव, तापमान तीन-चर सेंसर, वायु दबाव, हवा बल, तापमान, आर्द्रता चार-चर सेंसर, माइक्रो सिलिकॉन समग्र दबाव दबाव सेंसर, सरणी सेंसर।

सेंसर एकीकरण के दो प्रकार हैं: एक रैखिक सेंसर (जैसे सीसीडी इमेज सेंसर) बनाने के लिए माइक्रो-मचिंग तकनीक के माध्यम से एक चिप पर कई सेंसर मॉड्यूल का निर्माण करना है; अन्य उच्च एकीकरण, छोटे आकार और आसान मुआवजे और सुधार के साथ एक एकीकृत बहुक्रियाशील सेंसर बनाने के लिए एक ही सिलिकॉन चिप पर विभिन्न कार्यों के साथ संवेदनशील घटक बनाना है।