वैक्यूम कोटर के सब्सट्रेट पर अल फिल्म जमा होने की संभावना बराबर है

वैक्यूम कोटर के सब्सट्रेट पर अल फिल्म जमा होने की संभावना बराबर है

वैक्यूम कोटिंग मशीन के इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण का उपयोग किया जाता है, फिल्म जमा करते समय ग्रहीय तंत्र समान रूप से घूमता है, और अल फिल्म जमा करते समय प्रत्येक सब्सट्रेट की संभावना बराबर होती है; ग्रह तंत्र का ध्यान क्रूसिबल वाष्पीकरण स्रोत पर है, और प्रत्येक सब्सट्रेट की जमाव दर एक निश्चित डिग्री के वैक्यूम के तहत है। लगभग बराबर. वैक्यूम कोटिंग मशीन मैग्नेट्रोन स्पटरिंग कोटिंग विधि का उपयोग करते हुए, चूंकि जमाव वर्तमान और लक्ष्य वोल्टेज को नियंत्रित किया जा सकता है, अर्थात, स्पटरिंग पावर को समायोजित और नियंत्रित किया जा सकता है, फिल्म की मोटाई की नियंत्रणीयता और दोहराव अच्छा है, और इसका उपयोग किया जा सकता है बड़ी सतहें. एक समान मोटाई वाली एक फिल्म प्राप्त की गई।

वैक्यूम कोटिंग मशीन की अल फिल्म की मोटाई सीधे अल फिल्म के अन्य गुणों को प्रभावित करेगी

अल फिल्म की मोटाई को सख्ती से नियंत्रित करना बहुत महत्वपूर्ण है, क्योंकि अल फिल्म की मोटाई सीधे अल फिल्म के अन्य गुणों को प्रभावित करेगी, जिससे सेमीकंडक्टर डिवाइस की विश्वसनीयता प्रभावित होगी। हाई बैक प्रेशर पावर ट्यूब के लिए, इसका कार्यशील वोल्टेज अधिक है और करंट बड़ा है। धातु फिल्म की एक निश्चित मोटाई के बिना, प्रति इकाई क्षेत्र अल फिल्म पर वर्तमान घनत्व बहुत अधिक होगा, जिसे जलाना आसान है। सामान्य अर्धचालक उपकरणों के लिए, यदि अल परत बहुत पतली है, तो फिल्म की निरंतरता खराब है, और इसमें एक द्वीप या जाल संरचना है, जिससे लीड को बांधना मुश्किल हो जाता है, जिससे बंधन बनाना मुश्किल हो जाता है या कमजोर रूप से बंध जाता है, जिससे प्रभावित होता है प्राप्ति; अल परत यदि यह बहुत मोटी है, तो फोटोलिथोग्राफी के दौरान पैटर्न को स्पष्ट रूप से नहीं देखा जा सकता है, जिससे संक्षारण मुश्किल हो जाता है और किनारे के क्षरण और "कनेक्शन" घटना का खतरा होता है।

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