वैक्यूम कोटिंग मशीन की प्रतिक्रिया न केवल भाग की सतह पर होती है

वैक्यूम कोटिंग मशीन की प्रतिक्रिया न केवल भाग की सतह पर होती है

इंसुलेटर का मैग्नेट्रोन प्रतिक्रियाशील स्पटरिंग आसान लगता है, लेकिन वास्तविक संचालन कठिन है। मुख्य समस्या यह है कि प्रतिक्रिया न केवल भाग की सतह पर होती है, बल्कि एनोड, निर्वात कक्ष की सतह और लक्ष्य स्रोत की सतह पर भी होती है। जिससे आग बुझाने, लक्ष्य स्रोत और वर्कपीस की सतह में जलन आदि होती है। जर्मनी में लेबोल्ड द्वारा आविष्कार की गई जुड़वां लक्ष्य स्रोत तकनीक इस समस्या को बहुत अच्छी तरह से हल करती है। सिद्धांत यह है कि लक्ष्य स्रोतों की एक जोड़ी एक दूसरे के कैथोड और एनोड हैं, जिससे एनोड सतह के ऑक्सीकरण या नाइट्रिडेशन को समाप्त किया जाता है। सभी स्रोतों (मैग्नेट्रोन, मल्टी-आर्क, आयन) के लिए शीतलन आवश्यक है, क्योंकि ऊर्जा का एक बड़ा हिस्सा ऊष्मा में परिवर्तित हो जाता है। यदि कोई शीतलन या अपर्याप्त शीतलन नहीं है, तो यह ऊष्मा लक्ष्य स्रोत के तापमान को 1,{2}} डिग्री से अधिक तक पहुँचाएगी और पूरे लक्ष्य स्रोत को पिघला देगी। .

वैक्यूम कोटर ने मैग्नेट्रोन रिएक्टिव स्पटरिंग का आविष्कार किया

मैग्नेट्रॉन लक्ष्य स्रोतों के साथ धातुओं और मिश्र धातुओं को स्पटर करना आसान है, और इग्निशन और स्पटरिंग सुविधाजनक है। ऐसा इसलिए है क्योंकि लक्ष्य (कैथोड), प्लाज्मा और स्पटर वाले हिस्से का वैक्यूम चैम्बर एक सर्किट बना सकता है। लेकिन अगर सिरेमिक जैसे स्पटरिंग इंसुलेटर, सर्किट टूट जाता है। इसलिए लोग उच्च-आवृत्ति बिजली आपूर्ति का उपयोग करते हैं, और लूप में एक मजबूत संधारित्र जोड़ते हैं। इस तरह, लक्ष्य सामग्री इंसुलेटिंग सर्किट में एक संधारित्र बन जाती है।

हालाँकि, उच्च-आवृत्ति मैग्नेट्रोन स्पटरिंग बिजली की आपूर्ति महंगी है, स्पटरिंग दर बहुत छोटी है, और ग्राउंडिंग तकनीक बहुत जटिल है, इसलिए इसे बड़े पैमाने पर उपयोग करना मुश्किल है। इस समस्या को हल करने के लिए मैग्नेट्रोन रिएक्टिव स्पटरिंग का आविष्कार किया गया। अर्थात्, धातु लक्ष्य का उपयोग करके, आर्गन और नाइट्रोजन या ऑक्सीजन जैसी प्रतिक्रियाशील गैस को जोड़ना। जब धातु लक्ष्य भाग से टकराता है, तो यह ऊर्जा रूपांतरण के कारण प्रतिक्रियाशील गैस के साथ मिलकर नाइट्राइड या ऑक्साइड बनाता है।

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