ट्रॉली ओवन लोड परीक्षण और कार्यात्मक सत्यापन

अर्धचालक विनिर्माण की सटीक प्रक्रिया में, ओवन आवश्यक उपकरण हैं, और उनका प्रदर्शन सीधे चिप की गुणवत्ता और उत्पादन दक्षता को प्रभावित करता है। यह सुनिश्चित करने के लिए कि अर्धचालक ओवन हमेशा इष्टतम काम करने की स्थिति में होते हैं, कृपया निम्नलिखित व्यापक दैनिक रखरखाव निर्देशों पर सावधानीपूर्वक विचार करें।

1। संदूषण जोखिमों को रोकने के लिए गहरी सफाई

आंतरिक सफाई: प्रत्येक उपयोग के बाद, ओवन को पूरी तरह से ठंडा होने के लिए प्रतीक्षा करें और फिर एक धूल - मुक्त कपड़ा और एक समर्पित क्लीनर के साथ इंटीरियर को पोंछें। सेमीकंडक्टर उत्पादन के लिए अत्यधिक उच्च स्वच्छता मानकों की आवश्यकता होती है, इसलिए कणों को जमा करने और चिप्स को दूषित करने से रोकने के लिए सफाई करते समय कोनों और दरारों पर विशेष ध्यान दें। जिद्दी दागों के लिए, कठोर स्क्रबिंग से बचें और इसके बजाय बार -बार पोंछने के लिए एक हल्के डिटर्जेंट का उपयोग करें। विआयनीकृत पानी से कुल्ला और सफाई के बाद अच्छी तरह से सूखें।

बाहरी सफाई: नियमित रूप से धूल और दाग को हटाने के लिए एक साफ, नम कपड़े के साथ ओवन बाहरी को पोंछें। बाहरी कोटिंग को नुकसान को रोकने के लिए संक्षारक क्लीनर का उपयोग करने से बचें और उपकरण के सौंदर्यशास्त्र और सुरक्षात्मक गुणों से समझौता करें। इसके अलावा, यह सुनिश्चित करने के लिए उपकरण के परिवेश का निरीक्षण करें कि कोई धूल संचय नहीं है और अच्छा वेंटिलेशन बनाए रखता है।

2। प्रमुख घटकों का विस्तृत निरीक्षण और रखरखाव

हीटिंग सिस्टम: ऑक्सीकरण और क्षति के संकेतों के लिए हीटिंग तत्व साप्ताहिक का निरीक्षण करें। यदि आप हीटिंग ट्यूब की सतह पर किसी भी काले धब्बे या दरार को नोटिस करते हैं, तो इसे असमान हीटिंग को रोकने के लिए इसे तुरंत बदल दें जो चिप सुखाने को प्रभावित कर सकता है। इसके अतिरिक्त, स्थिर विद्युत कनेक्शन सुनिश्चित करने के लिए ढीले कनेक्शन के लिए हीटिंग सिस्टम टर्मिनलों की जांच करें और खराब संपर्क के कारण होने वाली खराबी या सुरक्षा खतरों को रोकें।

फैन एंड एयर डक्ट: नियमित रूप से प्रशंसक के ऑपरेशन की जांच करें, किसी भी असामान्य शोर के लिए सुनें, और विरूपण या धूल संचय के लिए प्रशंसक ब्लेड का निरीक्षण करें। धूल संचय गर्म हवा के परिसंचरण की दक्षता को प्रभावित कर सकता है और चैम्बर के भीतर असमान तापमान को जन्म दे सकता है। ध्यान से ब्लेड और पंखे के इंटीरियर को संपीड़ित हवा के साथ साफ करें। इसके अलावा, बिना रुके प्रवाह के लिए एयर डक्ट की जांच करें और चैम्बर के भीतर गर्म हवा के भी और कुशल संचलन को सुनिश्चित करने के लिए किसी भी मलबे को हटा दें।

सीलिंग स्ट्रिप्स: सेमीकंडक्टर ओवन को सख्त सीलिंग की आवश्यकता होती है। उम्र बढ़ने, विरूपण, या क्षति के लिए रोजाना दरवाजा सीलिंग स्ट्रिप्स की जाँच करें। दरारें या लोच की हानि चैम्बर के भीतर अस्थिर तापमान और आर्द्रता का कारण बन सकती है और यहां तक ​​कि दूषित पदार्थों का परिचय दे सकती है। एक अच्छी सील सुनिश्चित करने के लिए स्ट्रिप्स को तुरंत बदलें।

Iii। स्थिर मापदंडों को सुनिश्चित करने के लिए सटीक अंशांकन

तापमान और आर्द्रता अंशांकन: ओवन के आंतरिक तापमान और आर्द्रता मासिक को जांचने के लिए एक उच्च - सटीक तापमान और आर्द्रता सेंसर का उपयोग करें। अर्धचालक उत्पादन के लिए अत्यधिक उच्च तापमान और आर्द्रता सटीकता की आवश्यकता होती है, और यहां तक ​​कि थोड़ा सा विचलन चिप प्रदर्शन को प्रभावित कर सकता है। अंशांकन के दौरान, यदि प्रदर्शित तापमान और आर्द्रता मान स्वीकार्य सीमा से परे वास्तविक मूल्यों से विचलित होते हैं, तो ओवन के तापमान और आर्द्रता नियंत्रण मापदंडों को तुरंत समायोजित किया जाना चाहिए, और बाद के विश्लेषण और ट्रेसबिलिटी के लिए अंशांकन डेटा को दर्ज किया जाना चाहिए।

नियंत्रण प्रणाली निरीक्षण: नियमित रूप से ओवन के नियंत्रण प्रणाली का निरीक्षण करें, जिसमें उचित कामकाज के लिए तापमान नियंत्रक और टाइमर जैसे घटक शामिल हैं। प्रत्येक नियंत्रण बटन की संवेदनशीलता और सटीकता का परीक्षण करें और यह सुनिश्चित करने के लिए कि ऑपरेटर ओवन ऑपरेटिंग मापदंडों को सटीक रूप से सेट और मॉनिटर कर सकता है, यह सुनिश्चित करने के लिए प्रदर्शित करें। यदि किसी भी असामान्यताओं का पता चला है, तो पेशेवर तकनीशियनों से तुरंत मरम्मत और डिबगिंग के लिए संपर्क करें।

Iv। मानकीकृत decommissioning और रखरखाव को पुनरारंभ करें

लॉन्ग - टर्म डिकॉमिशनिंग: यदि एक अर्धचालक ओवन को एक विस्तारित अवधि के लिए डिकोमिशन किया जाना चाहिए, तो पूरी तरह से साफ और इंटीरियर को सूखा और बिजली की आपूर्ति को डिस्कनेक्ट करें। धूल और नमी को प्रवेश करने से रोकने के लिए, एक धूल के कवर के साथ ओवन को कसकर कवर करें। समय-समय पर (साप्ताहिक अनुशंसित है) इसे 1 - 2 घंटे के लिए आंतरिक विद्युत घटकों के स्थिर प्रदर्शन को बनाए रखने और दीर्घकालिक निष्क्रियता के कारण खराबी को रोकने के लिए शक्ति प्रदान करते हैं।

सिफारिश करना: एक ओवन की सिफारिश करने से पहले जिसे एक विस्तारित अवधि के लिए डिकोमिशन किया गया है, सभी घटकों का अच्छी तरह से निरीक्षण करें। इसमें इंटीरियर को फिर से साफ करना, विद्युत कनेक्शन की जांच करना, हीटिंग सिस्टम और फैन ऑपरेशन का परीक्षण करना, आदि का समय नहीं है कि तापमान और आर्द्रता नियंत्रण सामान्य हैं या नहीं, यह देखने के लिए समय की अवधि के लिए यूनिट को चलाएं। केवल यह पुष्टि करने के बाद कि कोई असामान्यताएं नहीं हैं, इसका उपयोग किया जा सकता है।