वैक्यूम सिल्वर आयन बीम असिस्टेड डिपोजिशन के लिए इलेक्ट्रोमैग्नेटिक गुण और ऑप्टिकल थिन फिल्म्स का संवर्द्धन
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वैक्यूम सिल्वर आयन बीम असिस्टेड डिपोजिशन के लिए इलेक्ट्रोमैग्नेटिक गुण और ऑप्टिकल थिन फिल्म्स का संवर्द्धन
आयन बीम सहायता प्राप्त जमाव फिल्मों के विद्युत चुम्बकीय गुणों को बदल सकता है और ऑप्टिकल पतली फिल्मों के प्रदर्शन में सुधार कर सकता है।
क्योंकि आयन-सहायता जमाव परमाणु जमाव और आयन आरोपण के प्रासंगिक मापदंडों को सटीक और स्वतंत्र रूप से समायोजित कर सकता है, और लगातार कम बमबारी ऊर्जा पर सुसंगत संरचना के साथ कई माइक्रोन की कोटिंग उत्पन्न कर सकता है, विभिन्न कोटिंग्स को कमरे के तापमान पर उगाया जा सकता है। उच्च तापमान पर संसाधित होने पर सामग्री या सटीक भागों पर प्रतिकूल प्रभाव से बचने के लिए बीज फिल्म।
वैक्यूम सिल्वर आयन बीम सहायता प्राप्त जमाव का संक्षारण प्रतिरोध और ऑक्सीकरण प्रतिरोध
आयन बीम सहायता प्राप्त जमाव फिल्मों के संक्षारण और ऑक्सीकरण प्रतिरोध को बढ़ाता है। आयन बीम सहायता प्राप्त जमाव द्वारा जमा की गई घनी फिल्म परत के कारण, फिल्म बेस की इंटरफ़ेस संरचना में सुधार या अनाकार अवस्था के गठन के कारण कणों के बीच अनाज की सीमाओं का गायब होना फायदेमंद है: सामग्री का मजबूत संक्षारण प्रतिरोध और उच्च तापमान ऑक्सीकरण का प्रतिरोध।
वैक्यूम सिल्वर प्लेटिंग का आयन-बीम-सहायता जमाव फिल्मों के तनाव गुणों को बदल देता है
आयन बीम सहायता प्राप्त जमाव फिल्म के तनाव गुणों और इसकी क्रिस्टलीय संरचना में परिवर्तन को बदल सकता है। उदाहरण के लिए, जब सब्सट्रेट की सतह पर 11.5keV Xe प्लस या Ar प्लस बमबारी के साथ सीआर फिल्म तैयार की गई थी, तो यह पाया गया कि सब्सट्रेट का तापमान, बमबारी करने वाले आयनों की ऊर्जा और आयनों के आगमन अनुपात जैसे मापदंडों को समायोजित करना परमाणु तनाव को तन्य तनाव से संपीड़ित तनाव में बदल सकते हैं। फिल्म की क्रिस्टल संरचना में भी बदलाव हैं। उदाहरण के लिए, एक निश्चित आयन-से-परमाणु आगमन अनुपात पर, आयन बीम सहायता प्राप्त जमाव में थर्मल वाष्पीकरण जमा फिल्मों की तुलना में बेहतर पसंदीदा अभिविन्यास होता है।
वैक्यूम सिल्वर आयन बीम असिस्टेड डिपोजिशन द्वारा फिल्मों के यांत्रिक गुणों में सुधार
आयन बीम सहायता प्राप्त जमाव फिल्म के यांत्रिक गुणों में सुधार कर सकता है, थकान जीवन को बढ़ा सकता है, और ऑक्साइड, कार्बाइड, क्यूबिक बीएन, टीआईबी और हीरे जैसी कोटिंग्स की तैयारी के लिए बहुत उपयुक्त है। उदाहरण के लिए, जब 200nm SiN फिल्म को आयन बीम असिस्टेड डिपोजिशन तकनीक द्वारा 1Cr18Ni9Ti गर्मी प्रतिरोधी स्टील पर उगाया जाता है, तो यह न केवल सामग्री की सतह पर थकान दरारों की शुरुआत को रोक सकता है, बल्कि थकान दरारों की प्रसार दर को भी काफी कम कर सकता है। जो उसकी उम्र बढ़ाने में अच्छा प्रभाव डालता है।
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